還沒等大家欣賞完,高振東向俞允成點了點頭,俞允成下了指令:“準備一下,拉第二根!”
考慮到徹底冷卻之前,很多檢驗是做不了的,高振東和俞允成商量之后,決定一次性拉三根。
這東西體積可不算小,要徹底冷下來,也不是短時間能做到的。
干脆,整三根出來,也能檢驗單晶爐和單晶硅對應工藝參數的可重復性,要知道,他們這個單晶爐可不是只準備搞個研究,只驗證這條路線的可行性,而是要驗證單晶硅量產的可行性。
一旦成功之后,這個單晶爐是要作為標準硅單晶生產設備量產的,自然相關的試驗要求比拉一根試試要復雜、嚴謹得多 否則以高振東的技術,加上俞允成的經驗,也不會花上這好幾個月了。
說起這事,俞允成就不由得淚流滿面,豪橫啊,想起自己拉4個9硅單晶的時候那捉襟見肘的情形,籽晶只有一枚,一旦失敗,下一枚的資金都還沒有著落。
但是要論勞累程度,俞允成應該排第一,所以宣布成功這份殊榮,就讓俞允成來吧,這是他應得的,至于高振東自己,不缺這個。
三根拉下來,加上其他七七八八的準備、試驗、數據記錄、收尾等工作,也要花不少時間。
“仔細想想,好像也有段時間沒見他們聚餐了,還以為不行了呢。”
不過現在5個9的也能用了,更別說現在這個“半步6個9”的產品了。
到了下午,三根硅單晶棒都拉制完成了,第一根已經冷卻得差不多,送到檢驗室去了。
別的不說,1274廠就等著呢,他們一直等著硅單晶,以及高振東承諾的硅單晶之后,帶著他們搞集成電路。
實際上科技發展到高振東穿越的時候,半導體工業硅單晶純度動不動就是9個9,而極限能做到16個9!
這就是背靠大樹的感覺啊。
讓他來宣布吧,雖然單晶爐能成功,高振東自己毫無疑問是最核心最主要的原因,首功當之無愧,沒有他拿出來的設計、理論、數據,這東西成不了,或者說速度沒有這么快,性能沒有這么優秀。
聽見“成了”兩字,大家都徹底放松了下來,雖然這只是第一根的第一批數據,但是這已經代表這一步是穩了!
他端起杯子,和俞允成走了一個,然后道:“老俞,單晶爐搞完了,再幫我搞個晶體,技術我都想好了,不過我自己忙不過來,有興趣的話,一起干。”
高振東對此也非常高興,畢竟他知道這個單晶爐是靠譜的,但是具體能靠譜到什么程度,那還是不知道的。
“晶向,沒問題。”
到了快吃飯的時候,第一根硅單晶棒的第一批數據回來了。
俞允成想了想,又問了一句看似掃興的話:“那如果只有第一根成功了呢?”
正所謂是沒有垃圾的性能,只有垃圾的價格。
吃飯的時候,高振東突然想起個事情來,這個事情讓俞允成幫忙最好不過了。
高振東搖搖頭:“不留!我們需要做實驗的話,再拉兩根就是,反正收尾工作還需要一點時間,來得及。現在最主要的是,讓大家知道我們有這個能力了。有的地方在盼著這個消息呢。”
“研究室那幫又去吃飯了?”
“電阻率,在預計范圍內。”
“喲,看來是又有什么項目搞成了吧,他們習慣這樣。”
聽了俞允成的指令,整個項目組的人很快行動起來,趕緊趕緊。
中間大家甚至還換班輪流去食堂吃了個飯,試驗室有管理規定,尤其是正式試驗期間,不能在實驗室吃飯。
高振東和俞允成對視一眼,他點了點頭,把測試數據遞給了俞允成。
拿著數據奔過來的組員,一臉的興奮,手里揮舞著幾張紙。
一路看下來,兩人神情振奮,別的不知道,至少這第一根,能看到的項目,是都妥了。
俞允成被高振東這大手筆給驚呆了:“全送出去?自己不留?”
不過還不能高興太早,他們一項一項的繼續往下看。
他們并沒有意識到,這涉及到一個行業的開創,未來幾十年最為熱門的技術方向,就是靠著剛才那幾根黑乎乎亮閃閃的棒棒奠基的。
說實話,以到現在在單晶爐上投入的時間和成本來算,這爐子就算十根里面拉成一根,高振東都要夸它工作努力,成功率高。
從這兩個摻雜濃度單位就知道,1ppm的有害雜質對于半導體器件的影響有多大了。
“來了來了,成了成了!”
高振東想了想:“這樣,今天明天,麻煩你帶著他們加個班,把這三根硅單晶棒的參數都測出來,這樣我們心里也有底。”
“同志們,我宣布,經過我們三個月的努力,通用單晶爐項目,成功了!”
高振東也有些緊張,這個單晶爐,是他靠資料還原設計的,而不像DJS59是系統出品,不過他臉上表現出來的,還是一副胸有成竹,云淡風輕,氣定神閑的樣子,他是領頭的,下面的人可以慌,他不能。
俞允成高高舉起手中的測試數據,在空中揮舞著,面色微紅,語氣昂揚。
至于其他一些諸如氧含量、碳含量、少子濃度、位錯密度之類的參數,要么還在測,要么測不了。
不過這些都不影響高振東確定一件事情,至少這根硅單晶棒,沒問題了!
就算后面兩根出了問題,那也沒什么關系,至少這一根說明,這個爐子本身沒問題,有問題的是我們的工藝和流程。
3ppm(百萬分之一)的雜質濃度,意味著硅單晶的純度達到了99.9997,妥妥的5個9硅單晶,甚至已經開始接近6個9了!
這比他一開始的目標:5個9,雜質濃度下降了好幾倍。
俞允成二話沒說就點頭答應了:“沒問題,不過這次能不能回海河口1761所那邊搞,我出來太久了,哈哈。”
等到大家都差不多冷靜下來,高振東笑著宣布了一個慣例:走,吃飯去!食堂已經準備好了。
俞允成自己卻沒想到這個問題,想了想,還真是,也不由得為高振東的細心暗暗感激,高主任做人,周到啊。
俞允成點頭應下,就算高振東不說,他也要加班把參數測完,他哪兒能忍得到星期一。
再看看這里,一次就買了3枚,而且試驗之前,高主任更是放話了,不要有壓力,這3枚廢掉了,總結經驗,吸取教訓,改進設備,調整工藝,再拉就是。
雜質濃度對于硅單晶來說非常重要,在制作半導體器件的時候,為了得到需要的特性,對硅單晶進行摻雜的時候,常用的摻雜濃度單位是ppma(百萬分之一原子比)、ppba(十億分之一原子比),前者更多用一些。
他從組員手中接過數據,和俞允成兩人腦袋湊到一起,一行一行的看了下去。
廠辦的樓上,楊廠長看著下面研究室的一群人,笑了,這是又搞成什么東西了吧。
高振東點點頭:“沒問題,算是我們廠和你們所合搞的,在你們所搞就行。”
高振東站起身,把手伸了出來:“給我看看。”
為什么是通用單晶爐呢?因為這東西就是按照通用設計的,紅寶石激光器用的單晶體不也是它拉出來的嘛。
大家一陣哄笑,都知道高主任的做派的。
畢竟設計歸設計,實現歸實現,設計指標八樓高,實際成果地下室的事情也不少見。
他的神態,也讓整個研究組的氛圍都輕松了下來,老大都不慌,我們慌什么,學學高主任,鎮定一點。
“雜質濃度,3ppm!哈哈。”俞允成笑出聲來,最要緊的一項指標,已經達成了。
“晶體結構,沒問題,單晶沒跑了。”
大家頓時喧鬧起來,有歡呼的,有鼓掌的,有哈哈大笑的,有互相捶肩拍臂的,嗯,沒有失聲痛哭的,這個不至于。
“不行?你當搞科學是地里摘大白菜呢?我姑表弟的二伯母的妯娌的女婿在京城鋼鐵廠,聽他說,他們廠要不是去年我們廠幫忙,一個科學項目都沒有呢。”
高振東早就考慮好了:“那就送十七機部!這對你有好處。兩根的話,就一根國科院,一根十七機部。”
一群人浩浩蕩蕩的往食堂走,來往的同志又議論上了。
高振東沒有離開,研究組的人也都在試驗室,一個也沒有離開,雖然把握很大,而且高振東給出的條件也不是一錘子買賣,可是眼看要出結果了,還是有些緊張。
“測完之后,星期一我們看看,如果三根都沒問題,你寫份材料,我們復制三份,然后把這三根晶體一根送國科院做鑒定檢測,一根送十七機部,一根送十二機部。”
看著大家在興奮,俞允成問高振東:“高主任,下一步怎么弄?”
對于俞允成來說,一開始想都不敢想!
俞允成這個建議正中高振東下懷,他準備搞的這個晶體,和單晶爐關系很小,倒是1761所那邊,可能條件還好一些。
高振東準備做的是心念已久的東西:他以前提取到的線掃紅外熱像儀中的碲汞鎘晶體。
(本章完)